CHEMICAL LQUID CIRCULATION APPARATUS CHEMICAL LQUID DISPENSING APPARATUS AND CHEMICAL LQUID SUPPLY SYSTEM HAVING THE SAME

본 발명의 일 실시예는 약액이 유입되는 유입구, 상기 유입구를 통해 유입된 상기 약액이 일시적으로 저류(貯留)되는 개구부, 및 상기 개구부 내에 저류된 상기 약액이 유출되는 유출구를 포함하는 약액조; 상기 약액조의 상기 유입구로 상기 약액을 공급하는 공급 유로 및 상기 약액조의 상기 유출구에서 회수된 상기 약액을 상기 공급 유로로 재공급하는 회수 유로를 포함하는 약액 순환 장치; 상기 약액 순환 장치의 상기 공급 유로로 상기 약액을 공급하는 약액 공급원; 및 상기 약액조의 상기 개구부로 이동하여 상기 개구부에 저류된 상기 약액을 흡입하여 임시 저장하며, 피처리 기판으로 이동하여 임시 저장된 상기 약액을 상기 피처리 기판 상에 토출하는 약액 디스펜싱 장치를 포함하는 약액 공급 시스템을 제공한다. A chemical liquid supply system includes a chemical liquid tank including an inlet allowing a chemical fluid to be introduced therethrough, an opening allowing the chemical liquid introduced through the inlet to be temporarily stored, and an outlet allowing the chemical liquid stored in the opening to flow out therethrough, a chemical liquid circulation apparatus including a supply flow path supplying the chemical liquid to the inlet and a recovery flow path resupplying the chemical liquid collected from the outlet to the supply flow path, a chemical liquid supply source supplying the chemical liquid to the supply flow path of the chemical liquid circulation apparatus, and a chemical liquid dispensing apparatus configured to move to the opening and draw the chemical liquid from the opening, move to a substrate to be treated and discharge the chemical liquid onto the substrate.