DEPOSITION NOZZLE IMPROVING THE STRAIGHTNESS OF DEPOSITION PARTICLE AND DEPOSITION APPARATUS WITH THE SAME

유기물과 같은 증착 입자의 분사를 조절하여 고해상도의 디스플레이가 구현되는 유기발광다이오드를 제조하는데 사용되는 헤드부를 포함하는 증착용 노즐을 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 헤드부를 포함하는 증착용 노즐은, 증착 입자가 분사되는 내부 공간이 형성되는 노즐 바디; 및 상기 노즐 바디의 내측면에 계단 형상으로 이루어지고, 상기 증착 입자의 일부의 흐름을 나선 형상으로 유도하는 단차부; 를 포함할 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	KIM YEONG BEOM
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL ATOMISING APPARATUS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY NOZZLES PERFORMING OPERATIONS SPRAYING APPARATUS SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	유기물과 같은 증착 입자의 분사를 조절하여 고해상도의 디스플레이가 구현되는 유기발광다이오드를 제조하는데 사용되는 헤드부를 포함하는 증착용 노즐을 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 헤드부를 포함하는 증착용 노즐은, 증착 입자가 분사되는 내부 공간이 형성되는 노즐 바디; 및 상기 노즐 바디의 내측면에 계단 형상으로 이루어지고, 상기 증착 입자의 일부의 흐름을 나선 형상으로 유도하는 단차부; 를 포함할 수 있다.