음향 변환기 및 제조 방법
음향 변환기 어레이 및 그 제조 방법. 제1 금속층은 공통 전극을 형성하기 위해 압전 복합체의 제1 면에 증착되고 제2 금속층은 상기 반대 면(obverse side) 상에 제공된다. 상기 제2 금속층의 부분들이 제거되어 복수의 개별 전극들이 생성된다. 제3 금속층은 상기 복수의 개별 전극들 상에 증착될 수 있고, 상기 제3 금속층은 상기 제2 금속층보다 더 두껍다. 상기 개별 전극들은 상기 압전 복합체를 지나 상기 높이 방향으로 연장하여 전극 리드들을 생성한다. 금속층들은 리소그래피, 와이어프레임 또는 포일 시트에 의해 제공될 수...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | 음향 변환기 어레이 및 그 제조 방법. 제1 금속층은 공통 전극을 형성하기 위해 압전 복합체의 제1 면에 증착되고 제2 금속층은 상기 반대 면(obverse side) 상에 제공된다. 상기 제2 금속층의 부분들이 제거되어 복수의 개별 전극들이 생성된다. 제3 금속층은 상기 복수의 개별 전극들 상에 증착될 수 있고, 상기 제3 금속층은 상기 제2 금속층보다 더 두껍다. 상기 개별 전극들은 상기 압전 복합체를 지나 상기 높이 방향으로 연장하여 전극 리드들을 생성한다. 금속층들은 리소그래피, 와이어프레임 또는 포일 시트에 의해 제공될 수 있다.
An acoustic transducer array and method of making same. A first metal layer is deposited on a first side of a piezoelectric composite to form a common electrode and a second metal layer is provided over the obverse side. Portions of the second metal layer are removed to create a plurality of individual electrodes. A third metal layer may be deposited onto the plurality of individual electrodes, the third metal layer being thicker than the second metal layer. The individual electrodes extend beyond the piezoelectric composite in the elevation direction to create electrode leads. Metal layers may be provided by lithography, a wireframe or a foil sheet. |
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