NONDESTRUCTIVE ASSESSMENT SYSTEM FOR MICRO LED CHIP
본 발명은, 제 1 진공수용부를 구비하며 음극선 출광면을 구비한 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 음극선 출광면측에 형성되며, 외기에 노출되는 마이크로 엘이디 칩을 진공 고정하는 진공척, 상기 진공척과 상기 진공 챔버사이에는 제 2 진공수용부가 형성됨; 상기 제 1 진공수용부에 설치되어서 마이크로 엘이디 칩에 대하여 면음극선을 조사하는 면음극선 조사 장치; 상기 면음극선이 상기 마이크로 엘이디에 도달하여 상기 마이크로 엘이디 칩에 포함되는 활성층에 에너지를 전달하여 발생되는 면측정광을 감지하여 면광감지정보를 생성하는 측정광 감지 센서;...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | 본 발명은, 제 1 진공수용부를 구비하며 음극선 출광면을 구비한 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 음극선 출광면측에 형성되며, 외기에 노출되는 마이크로 엘이디 칩을 진공 고정하는 진공척, 상기 진공척과 상기 진공 챔버사이에는 제 2 진공수용부가 형성됨; 상기 제 1 진공수용부에 설치되어서 마이크로 엘이디 칩에 대하여 면음극선을 조사하는 면음극선 조사 장치; 상기 면음극선이 상기 마이크로 엘이디에 도달하여 상기 마이크로 엘이디 칩에 포함되는 활성층에 에너지를 전달하여 발생되는 면측정광을 감지하여 면광감지정보를 생성하는 측정광 감지 센서; 상기 진공척과 연결되어서 상기 제 2 진공수용부를 형성하는 진공 펌프; 및 상기 면광감지 정보를 분석하여 상기 마이크로 엘이디 칩의 특성을 분석하는 평가 분석부를 포함하는, 비파괴 마이크로 엘이디 칩의 특성 평가 시스템에 관한 것이다. |
|---|