SLIDING TYPE SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME

본 발명은 기판 이송로봇을 이용하여 대면적 기판을 이송할 수 있는 슬라이딩 이동식 기판 반송장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따르면, 기판이 안착되는 안착면을 가지는 엔드 이펙터; 상기 엔드 이펙터를 지지하는 복수개의 아암 및 상기 복수개의 아암을 상호 회전 가능하게 결합시켜 상기 아암이 전개되거나 접히도록 하는 관절부를 포함하는 아암부; 상기 아암부 전체를 회전시키는 아암 회전부; 상기 아암 회전부가 구비된 몸체; 기판이 반출되어야 할 반출 챔버와 기판이 반입되어야 할 반입 챔버의 사이에 구비되며, 상기...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MIN KYOUNG HO, PARK CHAN SEOK
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HAND TOOLS MANIPULATORS PERFORMING OPERATIONS PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 기판 이송로봇을 이용하여 대면적 기판을 이송할 수 있는 슬라이딩 이동식 기판 반송장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따르면, 기판이 안착되는 안착면을 가지는 엔드 이펙터; 상기 엔드 이펙터를 지지하는 복수개의 아암 및 상기 복수개의 아암을 상호 회전 가능하게 결합시켜 상기 아암이 전개되거나 접히도록 하는 관절부를 포함하는 아암부; 상기 아암부 전체를 회전시키는 아암 회전부; 상기 아암 회전부가 구비된 몸체; 기판이 반출되어야 할 반출 챔버와 기판이 반입되어야 할 반입 챔버의 사이에 구비되며, 상기 몸체를 반출 챔버측 또는 반입 챔버측으로 슬라이딩 이동시키는 이동부; 및 상기 이동부, 아암부 및 아암 회전부를 제어하는 제어부;를 포함하는 슬라이딩 이동식 기판 반송장치가 개시된다.