하이브리드 3Ｄ 검사 시스템

광학 검사 장치는, 간섭광의 빔을 검사 중인 영역을 향해 지향시키고, 그 영역의 간섭 프린지들의 제1 이미지를 생성하도록 구성된 간섭계 모듈을 포함한다. 이 장치는 구조형 광의 패턴을 검사 중인 영역 상으로 투사하도록 구성된 삼각 측량 모듈, 및 간섭 프린지들의 제1 이미지 및 검사 중인 영역으로부터 반사되는 패턴의 제2 이미지를 캡쳐하도록 구성된 적어도 하나의 이미지 센서를 또한 포함한다. 빔 결합기 광학기기는 간섭광의 빔 및 투사된 패턴을 검사 중인 영역 상의 동일한 위치에 부딪치게끔 지향시키도록 구성된다. 프로세서는 검사 중인 영역의 3D 맵을 생성하기 위해 제1 및 제2 이미지들을 프로세싱하도록 구성된다. An optical inspection apparatus includes an interferometer module, which is configured to direct a beam of coherent light toward an area under inspection and to produce a first image of interference fringes of the area. The apparatus also includes a triangulation module configured to project a pattern of structured light onto the area, and at least one image sensor configured to capture the first image of interference fringes and a second image of the pattern that is reflected from the area. Beam combiner optics are configured to direct the beam of coherent light and the projected pattern to impinge on the same location on the area. A processor is configured to process the first and second images in order to generate a 3D map of the area.