REPAIRING APPARATUS AND METHOD
As a repair device and a repair method using the same, the present invention comprises: a stage formed to seat a substrate; an ink supply part disposed on an upper side of the stage to discharge an electrical conductive ink; and a light supply part disposed on the upper side of the stage to irradiat...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | As a repair device and a repair method using the same, the present invention comprises: a stage formed to seat a substrate; an ink supply part disposed on an upper side of the stage to discharge an electrical conductive ink; and a light supply part disposed on the upper side of the stage to irradiate a white colored light for sintering of the electrical conductive ink. Provided are a device and method for repair that can improve a quality of a film formed on a defective area while reducing a time to repair the defective area on the substrate.
본 발명은, 기판을 안착시킬 수 있도록 형성되는 스테이지, 전기전도성 잉크를 토출할 수 있도록 스테이지의 상측에 배치되는 잉크공급부, 및 전기전도성 잉크의 소결을 위한 백색광을 조사할 수 있도록 스테이지의 상측에 배치되는 광공급부를 포함하는 리페어 장치와, 이를 이용한 리페어 방법으로서, 기판상의 결함 부위를 리페어하는 시간을 줄일 수 있으면서 결함 부위에 형성된 막의 품질을 높일 수 있는 리페어 장치 및 방법이 제시된다. |
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