FEEDTHROUGH FOR ELECTRICALLY CONNECTING BETWEEN INTERNAL PART AND EXTERNAL PART OF PROCESSING REGION IN SUBSTRATE PROCESSING APPRATUS

An embodiment of the present invention provides a feedthrough for electrically connecting between an internal part and an outer part of a processing region while sealing the process region, and a substrate processing apparatus and a boding facility including the feedthrough. The feedthrough for electrically connecting between an internal part and an outer part of a processing region in a substrate processing apparatus comprises: a body part fixed to a Bessel to from the process region; a connector to electrically connect between an internal part and an outer part of a processing region; and a sealing member to seal the process region. The body part includes: a fastener for fastening with the Bessel; a metal contact part protruding around the fastener and making contact with the Bessel; and a gasket contact part formed at a remaining region except for the metal contact part in one surface of the body to make contact with the sealing member. According to the present invention, a body part of a feedthrough may include a metal contact part protruding around the fastener and a gasket contact part formed at a remaining region except for the metal contact part to make contact with the sealing member, to electrically connect between an internal part and an outer part of a processing region while sealing the process region. 본 발명의 실시예는 처리 공간을 밀폐를 유지하면서 처리 공간의 내부와 외부를 전기적으로 연결할 수 있는 피드스루, 및 해당 피드스루를 포함하는 기판 처리 장치 및 본딩 설비가 제공된다. 본 발명의 일 측면에 따른 기판 처리 장치에서 처리 공간 내부와 외부를 전기적으로 연결하기 위한 피드스루는, 처리 공간을 형성하는 베셀에 고정되도록 설치되는 바디부와, 상기 처리 공간의 내부와 외부를 전기적으로 연결하는 커넥터부와, 상기 처리 공간을 밀폐하는 씰링 부재를 포함한다. 상기 바디부는 상기 베셀과의 체결을 위한 체결구와, 상기 체결구 주변에서 돌출되도록 형성되어 상기 베셀과 접촉하는 금속 접촉부와, 상기 바디부의 일면에서 상기 금속 접촉부를 제외한 나머지 영역에 형성되어 상기 씰링 부재와 접촉하는 가스켓 접촉부를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 피드스루의 바디부가 체결구 주변에서 돌출되도록 하는 금속 접촉부와 금속 접촉부를 제외한 나머지 영역에서 씰링 부재와 접촉하는 가스켓 접촉부를 구성함으로써 처리 공간을 밀폐를 유지하면서 처리 공간의 내부와 외부를 전기적으로 연결할 수 있다.