horizontal type terahertz spot beam optics device

The present invention relates to a horizontal terahertz spot beam optical apparatus, and more specifically, to the horizontal terahertz spot beam optical apparatus for improving inspection quality from an upper end to a lower end of an inspection target of a prescribed vertical shape. In addition, t...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: SHIN MOON SIK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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