horizontal type terahertz spot beam optics device

The present invention relates to a horizontal terahertz spot beam optical apparatus, and more specifically, to the horizontal terahertz spot beam optical apparatus for improving inspection quality from an upper end to a lower end of an inspection target of a prescribed vertical shape. In addition, t...

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1. Verfasser: SHIN MOON SIK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to a horizontal terahertz spot beam optical apparatus, and more specifically, to the horizontal terahertz spot beam optical apparatus for improving inspection quality from an upper end to a lower end of an inspection target of a prescribed vertical shape. In addition, the horizontal terahertz spot beam optical apparatus comprises: a beam generation unit for radiating a terahertz wave beam; a reception unit which detects the terahertz wave beam that is radiated from the beam generation unit and horizontally penetrates the inspection target; a first lens unit which condenses the terahertz wave radiated from the beam generation unit into a spot form; and a second lens unit which condenses the terahertz wave into a spot form toward the reception unit to increase permeability. 본 발명은 수평형 테라헤르츠 스팟빔 광학장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소정의 형상으로 수직한 형태의 피 검사체의 상단부터 하단까지 검사 품질을 향상시키기 위한 수평형 테라헤르츠 스팟빔 광학장치에 관한 것이다. 또한, 테라헤르츠파 빔을 조사하기 위한 빔 발생부와 상기 빔 발생부를 통해 조사되어 피 검사체를 수평하게 투과한 테라헤르츠파 빔을 검출하는 수신부와 상기 빔 발생부를 통해 조사되는 테라헤르츠파를 집속시켜 스팟형태로 집광시키는 제1 렌즈부와 수신부를 향해 테라헤르츠파를 스팟형태로 집광시켜 투과력을 높여주기 위한 제2 렌즈부를 포함하는 것을 특징으로 한다.