검사 장치

검사 장치는, 전자파의 조사 라인 상을 통과하는 피검사물의 일차원 투과 신호를, 메모리 상에서 이차원 화상으로 전개하는 화상 생성부, 화상 생성부에 있어서 피검사물의 일부분을 포함한 부분 화상이 생성될 때마다 상기 부분 화상을 대상으로 하여 화상 처리를 행하는 화상 처리부, 화상 처리부의 1회 또는 복수회의 처리 결과에 기초하여 화상 처리 후의 부분 화상의 품질을 검사하는 검사부를 포함한다. An inspection apparatus includes an image generation unit configured to develop one dimensional transmission signal of an article to be inspected passing through an irradiation line of electromagnetic wave into a two dimensional image on a memory, an image processing unit configured to perform image processing on a partial image every time the partial image including a part of article to be inspected is generated in the image generation unit, and an inspection unit configured to inspect a quality of the partial image after image processing, based on one or more processing results of the image processing unit.