TEST APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE

A test facility for a semiconductor device having excellent efficiency, mobility, and connectivity is provided. The test facility for a semiconductor device includes a first module on which a target semiconductor device is mounted; and a second module detached from the first module. The first module includes a first housing including an inner space, a volume control unit for controlling the volume of the inner space, a seating unit communicating with the inner space and placed with the target semiconductor device, and a magnetic force control unit in the first housing. The second module includes a second housing, a test board electrically connected to the target semiconductor device within the second housing, and a detachable unit detached from the magnetic force control unit by controlling magnetism by the magnetic force control unit in the second housing. 효율성, 이동성 및 연계성이 우수한 반도체 장치의 테스트 설비가 제공된다. 반도체 장치의 테스트 설비는, 대상 반도체 장치가 안착되는 제1 모듈, 및 제1 모듈에 탈착되는 제2 모듈을 포함하되, 제1 모듈은, 내부 공간을 포함하는 제1 하우징과, 내부 공간의 부피를 제어하는 부피 제어부와, 내부 공간과 연통되며 대상 반도체 장치가 배치되는 안착부와, 제1 하우징 내의 자기력 제어부를 포함하고, 제2 모듈은, 제2 하우징과, 제2 하우징 내에 대상 반도체 장치와 전기적으로 접속되는 테스트 보드와, 제2 하우징 내에 자기력 제어부에 의해 자성이 제어되어 자기력 제어부와 탈착되는 탈착부를 포함한다.