Deposition Source

The present embodiment comprises: a heater assembly including a heater housing, which has a hollow body and a space in an upper part of a lower body, and a heater which is formed on an outer surface of the hollow body and has a part extended to a bottom surface of the lower body; a crucible contained in the space; a terminal connected to the heater fat a lower side of the lower body; a first fastening member fixing the terminal; a second fastening member which is contained in the space and is fastened to the first fastening member; and an insulation cover which is contained in the space and wraps the second fastening member. In addition, the embodiment further comprises: a side reflector and an upper reflect top minimize nozzle clogging of the crucible and maximizes heater life. An evaporation source minimizes a space occupied by the heater assembly and protects the fastening members. 본 실시예는 로어 바디 상부에 중공 바디가 형성되고 공간이 형성된 히터 하우징과, 중공 바디의 외면에 형성되고 일부가 로어 바디 저면으로 연장된 히터를 포함하는 히터 어셈블리; 공간에 수용된 도가니; 로어 바디의 하측에서 히터에 접속된 단자; 단자를 고정시키는 제1체결부재; 공간에 수용되고 제1체결부재가 체결되는 제2체결부재; 및 공간에 수용되고 제2체결부재를 감싸는 절연 커버를 포함한다. 또한, 도가니의 노즐 클로깅을 최소화하고 히터 수명을 최대화하도록 사이드 리플렉터와 어퍼 리플렉터를 더 포함한다.