MASS SPECTROMETER DETECTOR AND SYSTEM AND METHOD USING THE SAME
2차 이온 질량 분석계용 이온 검출기가 개시된다. 상기 검출기는 제 1 전위에 결합되고 이온 입사시 전자를 방출하도록 구성된 전자 방출 플레이트; 상기 제 1 전위와는 다른 제 2 전위에 결합 된 신틸레이터 - 상기 신틸레이터는 상기 전자 방출 플레이트와 대면하는 전면과, 후면을 가지며, 상기 신틸레이터는 전면에서 전자의 입사시 후면으로부터 광자를 방출하도록 구성됨; 신틸레이터의 후면에 결합되고 신틸레이터의 후면으로부터 방출된 광자의 흐름을 제한하는 도파관; 및 상기 도파관에 결합되고 상기 도파관으로부터의 광자의 입사에 대응하는 전...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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