MASS SPECTROMETER DETECTOR AND SYSTEM AND METHOD USING THE SAME

2차 이온 질량 분석계용 이온 검출기가 개시된다. 상기 검출기는 제 1 전위에 결합되고 이온 입사시 전자를 방출하도록 구성된 전자 방출 플레이트; 상기 제 1 전위와는 다른 제 2 전위에 결합 된 신틸레이터 - 상기 신틸레이터는 상기 전자 방출 플레이트와 대면하는 전면과, 후면을 가지며, 상기 신틸레이터는 전면에서 전자의 입사시 후면으로부터 광자를 방출하도록 구성됨; 신틸레이터의 후면에 결합되고 신틸레이터의 후면으로부터 방출된 광자의 흐름을 제한하는 도파관; 및 상기 도파관에 결합되고 상기 도파관으로부터의 광자의 입사에 대응하는 전기 신호를 출력하도록 구성된 출력을 갖는 고상 포토멀티플라이어 (solid-state photomultiplier)를 포함한다. SIMS 시스템은 질량 분석기의 초점 평면 위에 배열 된 이동가능한 복수의 이러한 검출기를 포함한다. An ion detector for secondary ion mass spectrometer, the detector having an electron emission plate coupled to a first electrical potential and configured to emit electrons upon incidence on ions; a scintillator coupled to a second electrical potential, different from the first electrical potential, the scintillator having a front side facing the electron emission plate and a backside, the scintillator configured to emit photons from the backside upon incidence of electrons on the front side; a lightguide coupled to the backside of the scintillator and confining flow of photons emitted from the backside of the scintillator; and a solid-state photomultiplier coupled to the light guide and having an output configured to output electrical signal corresponding to incidence of photons from the lightguide. A SIMS system includes a plurality of such detectors movable arranged over the focal plane of a mass analyzer.