고전력 저주파 코일들
코일 본체 및 그 코일 본체 둘레에 배치되는 와이어의 복수의 동심 단면 와인딩들을 갖는 코일로서, 와이어는 와이어의 반경의 약 .25 내지 1.0의 인접 턴들 사이의 이격을 갖는다. 또한, 플라즈마 프로세싱 디바이스에 대한 코일로서, 코일은, 코일 본체 및 그 코일 본체 둘레에 배치되는 와이어의 복수의 동심 원통형 단면 와인딩들을 가지며, 와이어는, 와이어의 반경의 약 .25 내지 1.0의 인접 턴들 사이의 이격 및 약 2:1 내지 약 3:1의 직경 대 길이 비율을 갖는다. A coil having a coil body and a...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 코일 본체 및 그 코일 본체 둘레에 배치되는 와이어의 복수의 동심 단면 와인딩들을 갖는 코일로서, 와이어는 와이어의 반경의 약 .25 내지 1.0의 인접 턴들 사이의 이격을 갖는다. 또한, 플라즈마 프로세싱 디바이스에 대한 코일로서, 코일은, 코일 본체 및 그 코일 본체 둘레에 배치되는 와이어의 복수의 동심 원통형 단면 와인딩들을 가지며, 와이어는, 와이어의 반경의 약 .25 내지 1.0의 인접 턴들 사이의 이격 및 약 2:1 내지 약 3:1의 직경 대 길이 비율을 갖는다.
A coil having a coil body and a plurality of concentric cross-section windings of wire disposed around the coil body, the wire having a spacing between adjacent turns of about 0.25 to 1.0 of the radius of the wire. Also, a coil for a plasma processing device, the coil having a coil body and a plurality of concentric cylindrical cross-section windings of wire disposed around the coil body, the wire having a spacing between adjacent turns of about 0.25 to 1.0 of the radius of the wire and a diameter to length ratio of between about 2:1 and about 3:1. |
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