빔스플리터 기반 엘립소미터 포커스 시스템

엘립소미터는, 엘립소미터에 대한 최상의 포커스 포지션을 결정하기 위해 측정 스폿의 이미지를 사용하는 포커스 시스템을 포함한다. 포커스 신호는, 신호가 편광자에 의해 분석되기 전에 엘립소미터 측정 스폿을 분할하고, 그에 의해 변조된 강도로 스폿을 이미지화하는 것을 회피함으로써 생성된다. 포커스 신호는 센서 어레이 상에 그리고 센서 어레이 상의 스폿의 포지션에 기초하여 이미지화되고, 엘립소미터의 포커스 포지션이 결정될 수 있다. 단일 이미지가 엘립소미터의 포커스 포지션을 결정하는 데 사용되어, 실시간 포커스 포지션 측정을 허용할 수 있다. An ellipsometer includes a focusing system that uses an image of the measurement spot to determine a best focal position for the ellipsometer. The focus signal is produced by splitting off the ellipsometer measurement spot before the signal is analyzed by a polarizer thereby avoiding imagining the spot with a modulated intensity. The focus signal is imaged on a sensor array and based on the position of the spot on the sensor array, the focal position of the ellipsometer may be determined. A single image may be used to determine the focal position of the ellipsometer permitting a real time focus position measurement.