고품질 이온 빔 형성을 위한 시스템들, 디바이스들 및 방법들

빔 시스템에 관한 시스템들, 디바이스들, 및 방법들의 실시예들. 예시적인 빔 시스템은 하전 입자들의 빔을 생성하도록 구성된 하전 입자 소스, 빔을 가속하도록 구성된 사전-가속기 시스템, 및 사전-가속기 시스템으로부터의 빔을 가속하도록 구성된 가속기를 포함한다. 사전-가속기 시스템은 빔이 소스로부터 가속기의 입력 애퍼처로 전파될 때 빔이 수렴하게 할 수 있다. 사전-가속기 시스템은 가속기로부터 소스를 향해 이동하는 역류에 의해 야기되는 소스 교란 또는 손상을 추가로 감소시키거나 제거할 수 있다. Embodiments of systems, devices, and methods relate to a beam system. An example beam system includes a charged particle source configured to generate a beam of charged particles, a pre-accelerator system configured to accelerate the beam, and an accelerator configured to accelerate the beam from the pre-accelerator system. The pre-accelerator system can cause the beam to converge as it is propagated from the source to an input aperture of the accelerator. The pre-accelerator system can further reduce or eliminate source disturbance or damage caused by backflow traveling from the accelerator toward the source.