Apparatus for scheduling process

Provided is a process scheduling device for scheduling processes of a semiconductor facility. According to the present invention, the process scheduling device performs scheduling for each semiconductor process facility. The process scheduling device comprises: a processor; a storage including a plurality of instructions and a scheduling application performing scheduling by using the plurality of instructions; a memory temporarily storing information stored in the storage; a network interface communicating with each semiconductor processing facility; an input means inputting a command to each semiconductor processing facility; an output means displaying an operating state of the process scheduling device; and a system bus which is a data transmission/reception path among the processor, the storage, the memory, the network interface, the input means, and the output means. The scheduling application is loaded and operated in the memory and performs scheduling on the basis of common facility information commonly applied to a plurality of semiconductor process facilities and facility-specific information specially applied to a semiconductor process facility selected from a plurality of semiconductor process facilities. 반도체 설비의 처리 공정을 스케줄링하는 공정 스케줄링 장치를 제공한다. 상기 공정 스케줄링 장치는, 반도체 공정 설비별로 스케줄링을 하는 공정 스케줄링 장치에 있어서, 프로세서; 복수의 인스트럭션, 및 복수의 인스트럭션을 이용하여 스케줄링을 하는 스케줄링 어플리케이션을 포함하는 스토리지; 스토리지에 저장된 정보를 임시 저장하는 메모리; 각각의 반도체 공정 설비와 통신하는 네트워크 인터페이스; 각각의 반도체 공정 설비에 명령을 입력하는 입력 수단; 공정 스케줄링 장치의 동작 상태를 표시하는 출력 수단; 및 프로세서, 스토리지, 메모리, 네트워크 인터페이스, 입력 수단 및 출력 수단 간 데이터 송수신 통로인 시스템 버스를 포함하며, 스케줄링 어플리케이션은 메모리에 로딩되어 동작하고, 복수의 반도체 공정 설비에 대하여 공통적으로 적용되는 설비 공통 정보 및 복수의 반도체 공정 설비 중 선택된 반도체 공정 설비에 대하여 특화되어 적용되는 설비 특화 정보를 기초로 스케줄링을 한다.