AUTOMATED PARTICLE REMOVAL SYSTEM HAVING ANGULAR ADJUSTABILITY

A foreign particle removal system for removing a foreign substance from the surface of an object has a tool gripper for gripping a particle removal tool. A tip of the particle removal tool has an adhesive tip portion. The adhesive tip portion has an apex region at a remote end of the adhesive tip portion and a lateral region adjacent to the apex region. The tool gripper holds the particle removal tool at an oblique angle with respect to the surface so that the lateral region of the adhesive tip portion faces towards the surface. The tilted particle removal tool is conveyed with the tool gripper to contact the foreign substance on the surface with the lateral region of the adhesive tip portion, and a force acts on the surface to attract the foreign substance onto the lateral region. The particle removal tool can be lifted from the surface together with the foreign substance. Therefore, an automated method for removing a foreign substance, which has a proper force control mechanism for maximizing the use and cleaning yield of each particle removal tool before replacement thereof, and an apparatus using same, can be achieved. 물체의 표면으로부터 이물질을 제거하기 위한 이물질 제거 시스템은 입자 제거 공구를 파지하는 공구 그리퍼를 갖는다. 상기 입자 제거 공구의 팁은 점착성 팁 부분을 갖는다. 상기 점착성 팁 부분은 상기 점착성 팁 부분의 원위 단부에 정점 영역 및 상기 정점 영역에 인접한 측면 영역을 갖는다. 상기 공구 그리퍼는 상기 점착성 팁 부분의 측면 영역이 상기 표면을 향하도록 상기 표면에 대해 비스듬한 각도로 상기 입자 제거 공구를 유지한다. 상기 경사진 입자 제거 공구는 상기 공구 그리퍼로 운반되어, 상기 표면상의 이물질을 상기 점착성 팁 부분의 측면 영역과 접촉시키고 상기 표면상에 힘이 가해져, 상기 이물질을 상기 측면 영역 위로 끌어당긴다. 그런 다음, 상기 입자 제거 공구는 상기 이물질 함께 상기 표면으로부터 들어올려질 수 있다.