진공 펌프 장치 및 승강식 게이트 밸브

[과제] 진공 펌프 장치에 있어서 비교적 간단한 구조로 균등 배기를 실현 가능하게 한다. [해결 수단] 진공 펌프부(1)는, 아우터 로터(12)와 이너 스테이터(11)를 구비하고, 승강식 게이트 밸브부(2)는, 밸브체(21)와 밸브 시트(22)를 구비하며, 진공 펌프부(1)의 회전축 방향을 따라 밸브체(21)가 밸브 시트(22)에 대해 승강한다. 그리고, 이너 스테이터(11)는, 진공 펌프부(1)의 회전축 방향을 따른 관통 구멍(11c)을 구비하고, 밸브체(21)를 지지하는 지지 부재(23)의 적어도 일부가, 관통 구멍(11c)에 배치되어 있다. Uniform exhaustion can be realized with a relatively simple structure in a vacuum pump device.A vacuum pump portion includes an outer rotor and an inner stator, a lifting-type gate valve portion includes a valve body and a valve seat, and the valve body is lifted/lowered with respect to the valve seat along a rotating shaft direction. And the inner stator includes a through hole along the rotating shaft direction of the vacuum pump portion, and at least a part of a supporting member which supports the valve body is disposed in the through hole.