Transfer and Seperating Apparatus of Substrate for Testing

The present invention relates to a substrate transfer and sorting apparatus which transfers and sorts a substrate to rapidly inspect various substrates. The present invention provides the transfer and sorting apparatus of the substrate for inspection, comprising: a pallet supply unit which loads a pallet that loads a plurality of substrates to be inspected and an empty pallet without a substrate to be inspected; and a substrate separation unit which receives the pallet that loads the plurality of substrates to be inspected from the pallet supply unit and separates the substrate to be inspected. The substrate separation unit separates the substrate to be inspected from the pallet and transfers the same to perform an inspection. 본 발명은 각종 기판을 신속하게 검사하기 위해 기판을 이송 및 분류시키는 기판 이송 분류 장치에 관한 것이다. 본 발명은 검사할 기판이 복수로 적재된 파레트와 검사할 기판이 없는 빈 파레트를 적재하는 파레트 공급 유니트; 상기 파레트 공급 유니트로부터 검사할 기판을 복수로 적재한 파레트를 공급받아서 상기 검사할 기판을 분리하는 기판 분리 유니트를 포함하고, 상기 기판 분리 유니트는 상기 검사할 기판을 상기 파레트로부터 분리하고 검사를 수행하도록 이송하는 검사용 기판의 이송 분류 장치가 제공될 수 있다.