SCRIBING WHEEL FOR BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Provided are a scribing wheel for a brittle material substrate capable of reducing or suppressing the generation of micro-cracks in a horizontal direction and, particularly, increasing the cutting performance of a brittle material substrate with a thickness of 0.1 mm or less, and a manufacturing met...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SHIOZAWA ISAO, MOGI TSUYOSHI, NAKAGAWA KOICHI
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided are a scribing wheel for a brittle material substrate capable of reducing or suppressing the generation of micro-cracks in a horizontal direction and, particularly, increasing the cutting performance of a brittle material substrate with a thickness of 0.1 mm or less, and a manufacturing method thereof. The present invention relates to a disk-shaped scribing wheel for forming a scribing line in a brittle material substrate. The scribing wheel (1) alternately comprises first blades (10) and second blades (20) at an outer circumferential part (3) thereof in a circumferential direction. The outer circumferential part (3) comprises: a pair of inclined surfaces (3a) that intersect in a V shape to form the first blade (10); and recessed parts (22) that are recessed from either or both of the pair of inclined surfaces (3a) to form the second blades (20). In the present invention, a difference (S) in a radial direction between the positions of the blade edges (11) of the first blades (10) and the positions of the blade edges (21) of the second blades (20) is below 0.5 μm. 본 발명은, 수평 방향으로의 마이크로 크랙의 발생을 저감 또는 억제할 수 있고, 특히 두께가 0.1mm 이하의 취성 재료 기판의 절단 성능을 높일 수 있는 취성 재료 기판용 스크라이빙 휠 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명은, 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 부여하기 위한 디스크상의 스크라이빙 휠에 관한 것이다. 스크라이빙 휠(1)은, 그 외주부(3)에 제1 날(10)과 제2 날(20)을 원주 방향 교대로 구비한다. 외주부(3)는, V자상으로 교차하여 제1 날(10)을 이루는 한 쌍의 경사면(3a)과, 한 쌍의 경사면(3a)의 한쪽 또는 양쪽으로부터 오목해져서 제2 날(20)을 이루는 오목부(22)를 포함한다. 본 발명에 있어서, 제1 날(10)의 날끝(11) 위치와 제2 날(20)의 날끝(21) 위치의 반경 방향에서의 차(S)는 0.5㎛ 미만이다.