금속 또는 반금속-함유 필름의 제조 방법

본 발명은 무기 금속 또는 반금속-함유 필름의 제조 방법의 분야에 속한다. 상기 방법은 (a) 기체 상태의 금속 또는 반금속-함유 화합물을 고체 기판에 증착시키는 단계, 및 (b) 상기 고체 기판을 기체 상태의 하기 화학식 I, II, III, IV, V, VI 또는 VII의 화합물과 접촉시키는 단계 를 포함한다: JPEGpct00027.jpg112103 A는 NR 또는 O이고, E는 CR", CNR"2, N, PR"2 또는 SOR"이고, G는 CR' 또는 N이고, R은 알킬 기, 알켄일 기, 아릴 기 또는 실릴 기이고, R' 및 R"은 수소, 알킬 기, 알켄일 기, 아릴 기 또는 실릴 기이다. The present invention is in the field of processes for preparing inorganic metal- or semimetal-containing films. The process comprising (a) depositing a metal- or semimetal-containing compound from the gaseous state onto a solid substrate and (b) bringing the solid substrate in contact with a compound of general formula (I), (II), (III), (IV), (V), (VI), or (VII) in the gaseous state (I) (II) (III) (IV) . . . (V) (VI) (VII) wherein A is NR or O, E is CR″, CNR″2, N, PR″2, or SOR″, G is CR′ or N, R is an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, or a silyl group and R′ and R″ are hydrogen, an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, or a silyl group.