모놀리식 집적 포토다이오드를 갖는 수직 공동 면 발광 레이저 장치

본 발명은 수직 공동 면 발광 레이저(빅셀) 장치(10)에 관한 것이다. 빅셀 장치(10)는, 광 공진기(18), 포토다이오드(34), 및 전기 접점 장치(36, 38, 40)를 포함한다. 광 공진기(18)는, 제1 분산형 브래그 반사기(12), 제2 분산형 브래그 반사기(16), 및 발광을 위한 능동 영역(14)을 포함한다. 능동 영역(14)은, 제1 및 제2 분산형 브래그 반사기(12, 16) 사이에 배치된다. 포토다이오드(34)는 광 흡수 영역(20)을 포함한다. 전기 접점 장치(36, 38, 40)는, 광 공진기(18)를 전기적으로 펌핑하기 위한 전기 구동 전류를 제공하도록 배치되며, 포토다이오드(34)를 전기적으로 접촉시키도록 배치된다. 능동 영역(14)은 적어도 하나의 JPEGpct00061.jpg622 층을 포함하며, 0 ≤ x < 1이고, 광 흡수 영역(20)은 적어도 하나의 JPEGpct00062.jpg622 층을 포함하며, 0 < y < 1이고, y는 x보다 더 크다. A vertical cavity surface emitting laser device includes: an optical resonator; a photodiode; and a contact arrangement. The optical resonator includes: two distributed Bragg reflectors (DBRs) and an active region between the DBRs. The photodiode has a light absorption region in the optical resonator. The contact arrangement provides drive current to pump the optical resonator, and contacts the photodiode. The active region has an InxGa1-xAs layer, where 0≤x