ATI INTEGRATED TEST CELL USING ACTIVE THERMAL INTERPOSERATI WITH PARALLEL SOCKET ACTUATION

A test device includes a test interface board including a plurality of socket interface boards. Each of the socket interface boards comprises: a) an open-type socket for maintaining a DUT; b) an individual active thermal interposer that includes a thermal characteristic and can be operated to make thermal contact with the DUT; c) an upper structure that can be operated to accommodate the individual active thermal interposer; and d) an operation mechanism that can be operated to provide a contact force for making the individual active thermal interposer come in contact with the DUT. 테스트 장치는 복수의 소켓 인터페이스 보드를 포함하는 테스트 인터페이스 보드를 포함하며, 각각의 소켓 인터페이스 보드는, a) DUT를 유지하기 위한 개방형 소켓과, b) 열적 특성을 포함하고 DUT와 열 접촉하도록 작동 가능한 개별 능동형 열 인터포저와, c) 개별 능동형 열 인터포저를 수용하도록 작동 가능한 상부구조물과, d) 개별 능동형 열 인터포저를 DUT와 접촉시키기 위한 접촉력을 제공하도록 작동 가능한 작동 메커니즘을 포함한다.