시일 장치

피밀봉 유체의 기외로의 누출을 확실하게 방지할 수 있는 시일 장치를 제공한다. 제1 부재(10)와 제1 부재(10)에 대하여 회전하는 제2 부재(2)의 상대 회전 개소에 마련되고, 외부 유체(W)에 면하는 제1 시일 수단(21)과, 제1 시일 수단(21)에 병설되고, 기내의 피밀봉 유체에 면하는 제2 시일 수단(23)을 구비하고, 외부 유체(W)의 침입 및 피밀봉 유체의 누출을 방지하는 시일 장치(1)로서, 제1 시일 수단(21)과 제2 시일 수단(23) 사이에는, 이들 제1 시일 수단(21) 및 제2 시일 수단(23)에 중간 시일 수단(22)이 병설되고, 제1 시일 수단(21)과 중간 시일 수단(22) 사이에는, 외부 유체(W)보다도 고압의 기체가 공급되는 기체실(31)이 형성되고, 중간 시일 수단(22)과 제2 시일 수단(23)의 사이에는, 기체실(31)로 공급되는 기체보다도 저압 또한 피밀봉 유체보다도 저압의 기체가 공급되는 중간실(32)이 형성되어 있다. Provided is a seal device capable of reliably preventing a sealed fluid from leaking to the outside of equipment.A seal device 1 is provided at a portion where relative rotation occurs between a first member 10 and a second member 2 that rotates relative to the first member 10. The seal device 1 includes first seal part 21 facing an external fluid W and second seal part 23 arranged in parallel to the first seal part 21 and facing a sealed fluid in an interior of equipment to prevent entry of the external fluid W and leakage of a sealed fluid. Intermediate seal part 22 is arranged in parallel to the first seal part 21 and the second seal part 23 between the first seal part 21 and the second seal part 23. A gas chamber 31 is formed between the first seal part 21 and the intermediate seal part 22, to which a gas having a higher pressure than the external fluid W is supplied. An intermediate chamber 32 is formed between the intermediate seal part 22 and the second seal part 23, to which a gas having a lower pressure than the gas supplied to the gas chamber 31 and having lower pressure than the sealed fluid is supplied.