높은 흐름과 높은 균일성을 가진 사용 시점 동적 집중 전달 시스템

액체 화학물질을 주어진 분배 동안 동적으로 변화시키는 비 또는 정적인 비로 혼합하기 위한, 매우 높은 균일성과 반복성을 갖는 방법 및 시스템이 기재된다. 혼합기는 선형 유체 흐름 경로를 규정하고 횡방향으로 팽창하여 공정 유체를 수집하며 횡방향으로 수축하여 선택된 용적의 공정 유체를 혼합기로 전달하도록 구성되는 세장형 블래더를 포함하는 다수의 유체 공급 라인을 포함한다. A method and a system are described for mixing liquid chemicals at dynamically changing or s...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HULI LIOR, GROOTEGOED JAMES, ROBISON RODNEY, JACOBSON NORMAN, NASMAN RONALD, DEVILLIERS ANTON
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING, DISPERSING ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	액체 화학물질을 주어진 분배 동안 동적으로 변화시키는 비 또는 정적인 비로 혼합하기 위한, 매우 높은 균일성과 반복성을 갖는 방법 및 시스템이 기재된다. 혼합기는 선형 유체 흐름 경로를 규정하고 횡방향으로 팽창하여 공정 유체를 수집하며 횡방향으로 수축하여 선택된 용적의 공정 유체를 혼합기로 전달하도록 구성되는 세장형 블래더를 포함하는 다수의 유체 공급 라인을 포함한다. A method and a system are described for mixing liquid chemicals at dynamically changing or static ratios during a given dispense, with extremely high uniformity and repeatability. A mixer includes multiple fluid supply lines including elongate bladders defining a linear flow path and being configured to laterally expand to collect a process fluid and laterally contract to deliver a selected volume of the process fluid to the mixer.