마이크로폰 하우징

광 마이크로폰 어셈블리(2)는 미세 전기 기계 시스템(MEMS) 컴포넌트(4), 반도체 칩(6) 및 비-MEMS 지지 구조의 적어도 일부를 포함하고 개구(32)를 정의하는 외부 하우징을 포함한다. MEMS 컴포넌트는 간섭계 배열을 포함하며, 이는 멤브레인(8) 및 멤브레인(8)과 이격된 적어도 하나의 광학 요소(10)를 포함한다. 반도체 칩(6)은 적어도 하나의 광 검출기(14)를 포함하며 광원(16)이 그 위에 실장되거나 그 내부에 집적된다. MEMS 컴포넌트(4)는 비-MEMS 지지 구조 상에 실장되고, MEMS 컴포넌트(4)가 개구(32)를 닫도록 외부 하우징에 밀봉된다. 반도체 칩(6)은 MEMS 컴포넌트(4)가 멤브레인(8)의 반사 표면에 수직인 방향으로 반도체 칩(6)에 대해 변위되도록 MEMS 컴포넌트(4)와 이격 관계로 비-MEMS 지지 구조 상에 MEMS 컴포넌트(4)와 별도로 실장된다. 광원(16)은 광의 제1 부분(40)이 간섭계 배열을 통해 제1 광학 경로를 따라 전파하고 광의 제2 부분(42)이 간섭계 배열을 통해 제2의 상이한 광학 경로를 따라 전파하도록 간섭계 배열에 광(38)을 제공하도록 배열되어 제1 및 제2 부분들(40, 42) 중 적어도 하나가 멤브레인(8)의 반사 표면에 의해 반사되어, 멤브레인(8)과 광학 요소(10) 사이의 거리에 따라 달라지는 제1 및 제2 광학 경로들 사이의 광학 경로 차이를 발생시키도록 한다. 적어도 하나의 광 검출기(14)는 광학 경로 차이에 따라 달라지는 광의 상기 제1 및 제2 부분들(40, 42)에 의해 생성된 간섭 패턴의 적어도 일부를 검출하도록 배열된다. An optical microphone assembly including a micro-electromechanical system (MEMS) component, a semiconductor chip, and an outer housing including at least part of a non-MEMS supporting structure and defining an aperture. The MEMS component includes an interferometric arrangement which includes a membrane and at least one optical element spaced from the membrane. The semiconductor chip includes at least one photo detector and a light source. The MEMS component is mounted on the non-MEMS supporting structure and sealed to the outer housing such that the MEMS component closes the aperture. The semiconductor chip is mounted separately from the MEMS component on the non-MEMS supporting structure in a spaced relationship with the MEMS component such that the MEMS component is displaced relative to the semiconductor chip in a direction perpendicular to a reflecting surface of the membrane. The light source is arranged to provide light to the interferometric arrangement such that a first portion of the light propagates along a first optical path via the interferometric arrangement, and a second portion of the light propagates along a second, different optical path via the interferometric arrangement such that at least one of the first and second portions is reflected by the reflecting surface of the membrane, thereby giving rise to an optical path difference between the first and second optical paths which depends on a distance between the membrane and the optical element. The at least one photo detector is arranged to detect at least part of an interference pattern generated by the first and second portions of light dependent on the optical path difference.