JIG INCLUDING COOLING APPARATUS AND SURRY PLASMA SPRAY APPARATUS
본 발명에 따른 슬러리 플라즈마 스프레이 장치에서 코팅을 형성하기 위한 기판이 거치되는 쿨링지그는, 지그 내부에 마련되고 냉매가 순환되는 온도조절라인; 상기 온도조절라인에 냉매를 공급하는 냉각라인; 상기 냉매를 열교환시켜 일정한 온도로 제어하는 냉각기;를 포함하는 냉각수쿨링장치를 포함하여 달성될 수 있다....
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명에 따른 슬러리 플라즈마 스프레이 장치에서 코팅을 형성하기 위한 기판이 거치되는 쿨링지그는, 지그 내부에 마련되고 냉매가 순환되는 온도조절라인; 상기 온도조절라인에 냉매를 공급하는 냉각라인; 상기 냉매를 열교환시켜 일정한 온도로 제어하는 냉각기;를 포함하는 냉각수쿨링장치를 포함하여 달성될 수 있다. |
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