APPARATUS AND METHOD FOR ESD STRESS TESTING

The present invention relates to an electrostatic discharge test apparatus and method. More specifically, the present invention relates to an electrostatic discharge test apparatus and method designed to determine the sensitivity to an electrostatic discharge (ESD) of an object under which devices are formed on a non-conductive substrate, for example, a display panel such as a flat panel liquid crystal display. The method comprises the steps of: a) positioning an object to be inspected between a lower conductor plate and a plurality of upper conductor plates disposed to face the lower conductor plate in parallel; b) applying a DC voltage between the lower conductor plate and the upper conductor plates so that a voltage having a different polarity or a different magnitude from that of other upper conductor plates adjacent to at least some of the upper conductor plates is applied; and c) contacting an electrically conductive contact pin to a subject. The electrostatic discharge test apparatus and method according to the present invention has an advantage in that it is possible to determine sensitivity to electrostatic discharge (ESD) of an object that cannot be subjected to an electrostatic discharge test according to a conventional human body charging model and a charging device model, for example, a flat panel liquid crystal display. 본 발명은 정전기 방전 테스트 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 부도체 기판에 디바이스들이 형성된 피검사체, 예를 들어, 평판 액정 표시 장치 등의 표시 패널에 대한 정전기 방전(ESD)에 대한 민감도를 판단할 수 있도록 고안된 정전기 방전 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 a) 하부 도체 판과, 상기 하부 도체 판과 나란하게 마주보고 배치되는 복수의 상부 도체 판들 사이에 피검사체를 위치시키는 단계와, b) 상기 상부 도체 판들 중 적어도 일부에 인접하는 다른 상부 도체 판들과 다른 극성 또는 다른 크기의 전압이 인가되도록 상기 하부 도체 판과 상기 상부 도체 판들 사이에 직류 전압을 인가하는 단계와, c) 전기 전도성 접촉핀을 상기 피검사체에 접촉하는 단계를 포함하는 정전기 방전 테스트 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 정전기 방전 테스트 장치 및 방법은 종래의 인체대전모델과 대전소자모델에 따른 정전기 방전 테스트를 진행할 수 없는 피검사체, 예를 들어, 평판 액정 표시 장치의 정전기 방전(ESD)에 대한 민감도를 판단할 수 있다는 장점이 있다.