기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법, 및 프로그램

기판 처리 장치는, 기판을 보유 지지하는 슬롯을 복수 갖는 보트와, 보트에 보유 지지된 기판을 처리하는 처리로와, 보트를 승강시키는 보트 엘리베이터와, 기판이 격납되는 캐리어와 보트의 사이에서 기판을 이동 탑재하는 이동 탑재기와, 보트 엘리베이터와 이동 탑재기를 제어 가능하게 구성된 컨트롤러를 포함한다. 컨트롤러는, 이동 탑재기가 기판을 이동 탑재하기 위한 복수의 포지션을 보트 엘리베이터에 설정하고, 이동 탑재기가 복수의 캐리어부터 처리로에 장전 가능한 상태로까지 보트에 기판을 반입하는 동작, 및 이동 탑재기가 처리로에서 처리된 기판을 보트로부터 복수의 캐리어에 반출하는 동작 각각에 있어서, 보트 엘리베이터의 복수의 포지션간의 천이 횟수 혹은 천이에 요하는 시간의 합계가 최소로 되도록 선택하도록 구성된다. There is provided a technique that includes: a boat including plural slots to hold at least one substrate; a process furnace that processes the at least one substrate held in the boat; a boat elevator that raises and lowers the boat; a transfer device that transfers the at least one substrate between plural carriers where the at least one substrate is stored and the boat; and a controller capable of controlling the boat elevator and the transfer device, wherein the controller sets plural positions where the transfer device transfers the at least one substrate to the boat elevator, and select the positions to minimize a number of shifts among the positions of the boat elevator or total time taken during the shifts.