UV-irradiation apparatus for clocked operation and a method for irradiating substrates by UV-radiation

본 발명은 자외선 및 W-방사선, 즉, 가시광선 및/또는 적외선 모두를 방출하는 하나 이상의 방사원, 조사되는 기판들을 이송하기 위한 이송 장치, 약 45°의 각으로 자외선을 반사하고 W-방사선을 투과하는 하나 이상의 파장-길이 선택 필터, 파장-길이 선택 필터에 의해 편향되지 않는 W-방사선의 광선-경로 내의 전파 방향에서 광학 필터의 다운스트림에 배열되는 적외선 흡수 수단을 구비하는 조사 장치로서, 상기 적외선 흡수 수단은 또한 가시광선 및 자외선을 흡수하는 수단으로 설계되고, 상기 조사 장치는 파장-길이 선택 필터를 방사원의 광선-경로 내부 및 외부로 유도하기 위한 이동 수단을 포함하는 조사 장치에 관한 것이다. An irradiation device including at least one radiation source, which emits both UV-radiation and W-radiation, i.e. visible light and/or IR radiation. The device includes a transport device for delivering substrates to be irradiated. At least one wavelength-selective filter reflects UV-radiation at an angle of 45° and transmits W-radiation. Means for the absorption of IR radiation are arranged downstream of the optical filter in the propagation direction in the beam path of the W-radiation not deflected by the wavelength-selective filter. The means for the absorption of IR radiation are also designed to absorb visible light and UV rays, and the irradiation device includes movement means in order to guide the wavelength-selective filter into and out of the beam path of the radiation source.