VIRTUAL INSPECTION SYSTEMS WITH MULTIPLE MODES

표본 상에서 검출된 결함들에 대한 하나 이상의 특성들을 결정하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 하나의 시스템은 제1 모드로 검사 시스템에 의해 표본 상에서 검출되었지만 하나 이상의 다른 모드로는 검출되지 않았던 제1 결함을 식별하도록 구성된 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들을 포함한다. 컴퓨터 서브시스템(들)은 또한 제1 결함에 대응하는 표본 상의 위치에서의 상기 하나 이상의 다른 모드로 생성된 하나 이상의 이미지들을 저장 매체로부터 획득하도록 구성된다. 또한, 컴퓨터 서브시스템(들)은 획득된 하나 이상의 이미지들의 하나 이상의 특성들을 결정하고, 획득된 하나 이상의 이미지들의 하나 이상의 특성들에 기초하여 제1 결함의 하나 이상의 특성들을 결정하도록 구성된다. Methods and systems for determining one or more characteristics for defects detected on a specimen are provided. One system includes one or more computer subsystems configured for identifying a first defect that was detected on a specimen by an inspection system with a first mode but was not detected with one or more other modes. The computer subsystem(s) are also configured for acquiring, from the storage medium, one or more images generated with the one or more other modes at a location on the specimen corresponding to the first defect. In addition, the computer subsystem(s) are configured for determining one or more characteristics of the acquired one or more images and determining one or more characteristics of the first defect based on the one or more characteristics of the acquired one or more images.