타겟 전달 시스템

극자외선(EUV) 광원용 타겟 전달 시스템이 개시된다. 이 시스템은 리저버에 유체적으로 결합하도록 구성된 오리피스를 포함하는 도관; 액츄에이터의 운동이 도관으로 전달되도록 도관에 기계적으로 결합하도록 구성된 액츄에이터; 및 액츄에이터에 결합된 제어 시스템을 포함하며, 이 제어 시스템은: 리저버 내의 타겟 재료에 가해진 압력의 지표(indication)를 결정하도록, 그리고 가해진 압력의 결정된 지표에 기초하여 액츄에이터의 운동을 제어하도록 구성된다. 더욱이, 공급 시스템을 작동시키기 위한 기술이 개시된다. 예를 들면, 공급 시스템의 하나 이상의 특성이 결정되고, 공급 시스템의 오리피스가 작동 사용 중에 재료 손상이 실질적으로 없는 상태로 유지되도록 공급 시스템에 기계적으로 결합된 액츄에이터가 결정된 하나 이상의 특성에 기초하여 제어된다. A target delivery system for an extreme ultraviolet (EUV) light source is disclosed. The system includes: a conduit including an orifice configured to fluidly couple to a reservoir; an actuator configured to mechanically couple to the conduit such that motion of the actuator is transferred to the conduit; and a control system coupled to the actuator, the control system being configured to: determine an indication of pressure applied to target material in the reservoir, and control the motion of the actuator based on the determined indication of applied pressure. Moreover, techniques for operating a supply system are disclosed. For example, one or more characteristics of the supply system are determined, and an actuator that is mechanically coupled to the supply system is controlled based on the one or more determined characteristics such that an orifice of the supply system remains substantially free of material damage during operational use.