MANUFACTURING METHOD FOR PLASMA RESISTANCE EDGE RING USING PREPRESS AND THE PLASMA RESISTANCE EDGE RING USING THEREOF

The present invention relates to a method for manufacturing a plasma resistance edge ring, in which the edge ring can be manufactured by using a number of preformed specimens with uniformity secured through a prepress process so that 30 to 60% of additional space in a mold in comparison with a case of using sample powder immediately during a hot-press sintering process can be secured, thereby providing effects of manufacturing edge rings at least twice per one process, preventing introduction of impurities, and minimizing a separate post-processing process, such as wire cutting and the like, after a sintering process. In addition, since a cold isostatic pressure treatment is performed on the preformed specimen by the prepress process, foreign substances are removed from the specimen and the density deviation of the specimen is minimized, and distortion of the specimen during the hot-press sintering can be effectively prevented, thereby providing an effect of enabling the sintered density of the edge ring manufactured through the hot-press sintering process to correspond to 95 to 99.9% of the theoretical value. The method comprises a granulated powder manufacturing step, a ceramic specimen manufacturing step, a density deviation removing step, and a hot-press sintering step. 본 발명에 따른 내플라즈마성 엣지링 제조방법에 의하면, 프리프레스 과정을 통해 균일성이 확보된 다수의 사전성형 시편을 이용하여 엣지링을 제조할 수 있게 되므로, 열간가압 소결 가공 시 시료 분말을 바로 사용하는 경우 대비 몰드 내 30 내지 60%의 추가 공간 확보가 가능하여 1회 공정 당 최소 2배수 이상의 엣지링을 제조할 수 있게 되며, 불순물 이입을 방지할 수 있고, 또한, 소결 가공 후 와이어 컷팅 등 별도의 후가공 과정이 최소화되는 효과가 있다. 또한, 프리프레스 과정에 의해 사전성형된 시편에 대해 냉간 등방압 가압 처리를 수행함으로써, 시편의 이물을 제거하고, 시편의 밀도 편차를 최소화하여 열간가압 소결 가공 시 시편의 뒤틀림을 효과적으로 방지할 수 있으며, 이에 따라 열간가압 소결 가공을 통해 제조된 엣지링의 소결 밀도가 이론값 대비 95 내지 99.9%에 해당하게 되는 효과가 있다.