A System for Managing a Process Parameter by a Smart Sensor

The present invention relates to a system for managing process parameters by a smart sensor and more specifically, to a system for managing process parameters by a smart sensor, which can detect a temperature or leakage by installing multipole smart sensors at different positions of a device or equipment for processes to control the processes based on the detection. The system for managing process parameters by a smart sensor comprises: multiple sensor groups (11) including at least one smart sensor (11_1 to 11_N); a reader module (12) for starting operation of at least one smart sensor (11_1 to 11_N) and receiving detection information from each of the smart sensor (11_1 to 11_N); and a relay module (13) for transmitting the detection information from the smart sensor (11_1 to 11_N) to a fault detection classifier (FDC) (141) or a management server (142), wherein the operation of the at least one smart sensor (11_1 to 11_N) starts by reception of an RF signal, and the detection information is transmitted through an operation antenna. 본 발명은 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템에 관한 것에 관한 것이고, 구체적으로 공정을 위한 장치, 설비 또는 기기의 서로 다른 위치에 다수 개의 스마트 센서를 부착하여 온도 또는 누설을 탐지하고 이에 기초하여 공정 제어가 가능한 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템에 관한 것이다. 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템은 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)를 포함하는 다수 개의 센서 그룹(11); 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)의 작동을 개시시키고, 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 탐지 정보를 수신하는 리더 모듈(12); 및 리더 모듈(12)로부터 수신된 탐지 정보를 작동 탐지 서버(FDC)(141) 또는 관리 서버(142)로 전송하는 중계 모듈(13)을 포함하고, 상기 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 RF 신호의 수신에 의하여 작동이 개시되고, 탐지 정보를 작동 안테나를 통하여 전송한다.