샘플을 스캐닝하기 위한 하전 입자 빔 시스템

하전 입자 빔 툴에 의해 샘플을 스캐닝하는 방법이 제공된다. 상기 방법은 복수의 단위 영역들을 포함하는 스캐닝 영역을 갖는 샘플을 제공하는 단계, 복수의 단위 영역들의 단위 영역을 스캐닝하는 단계, 스캐닝된 단위 영역에 인접한 복수의 단위 영역들의 다음 단위 영역을 블랭킹하는 단계, 및 모든 단위 영역들이 스캐닝될 때까지 복수의 단위 영역들의 스캐닝 및 블랭킹을 수행하는 단계를 포함한다. A method for scanning a sample by a charged particle beam tool is provided. The m...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LYONS ADAM, WALLOW THOMAS I
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	하전 입자 빔 툴에 의해 샘플을 스캐닝하는 방법이 제공된다. 상기 방법은 복수의 단위 영역들을 포함하는 스캐닝 영역을 갖는 샘플을 제공하는 단계, 복수의 단위 영역들의 단위 영역을 스캐닝하는 단계, 스캐닝된 단위 영역에 인접한 복수의 단위 영역들의 다음 단위 영역을 블랭킹하는 단계, 및 모든 단위 영역들이 스캐닝될 때까지 복수의 단위 영역들의 스캐닝 및 블랭킹을 수행하는 단계를 포함한다. A method for scanning a sample by a charged particle beam tool is provided. The method includes providing the sample having a scanning area including a plurality of unit areas, scanning a unit area of the plurality of unit areas, blanking a next unit area of the plurality of unit areas adjacent to the scanned unit area, and performing the scanning and the blanking the plurality of unit areas until all of the unit areas are scanned.