Apparatus for transferring doors

In accordance with the present invention, an apparatus for transferring a door comprises: a cart accommodating part for accommodating a cart; a cart accommodated in the cart accommodating part, vertically stacking doors that open and close one open side of a wafer transfer container, and supplying a...

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1. Verfasser: HWANG BO SEUNG
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:In accordance with the present invention, an apparatus for transferring a door comprises: a cart accommodating part for accommodating a cart; a cart accommodated in the cart accommodating part, vertically stacking doors that open and close one open side of a wafer transfer container, and supplying and discharging the doors; a first port for loading doors of which the arrangement direction and the opening and closing state of latches provided on the doors are normal; a second port for loading doors of which at least one of the arrangement direction and the opening and closing state of the latches provided on the doors is defective; a door transfer unit for picking up the doors loaded on the cart, detecting the arrangement direction of the doors and the opening and closing state of the latches provided on the doors, and transferring the doors to the first port or the second port in accordance with a detection result; a third port for loading doors to be mounted on the wafer transfer container; and a transfer robot for transferring normal doors, loaded on the first port, to the third port. Therefore, doors for opening and closing the wafer transfer container of which one side is open can be automatically supplied. 본 발명에 따른 도어 이송 장치는, 대차를 수용하기 위한 대차 수용부와, 상기 대차 수용부에 수용되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어들을 상하로 적재하며 상기 도어들을 공급 및 배출하는 대차와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어들을 적재하는 제1 포트와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어들을 적재하는 제2 포트와, 상기 대차에 적재된 상기 도어들을 픽업하여 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 제1 포트 또는 상기 제2 포트로 이송하는 도어 이송 유닛과, 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착될 도어들을 적재하는 제3 포트 및 상기 제1 포트에 적재된 정상인 도어들을 상기 제3 포트로 이송하는 이송 로봇을 포함할 수 있다.