COLLET FOR PICKUP A SEMICONDUCTOR CHIP

Provided is a collet for semiconductor chip pickup, which may include a collet body, a porous holder, and a support structure. The collet body may have an air room and at least one vacuum hole for introducing a vacuum into the air room. The porous holder may be disposed in the air room to adsorb the...

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Hauptverfasser: SEONG BO YEON, RYU JUNG SEOK, SHIN MU SEOB
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided is a collet for semiconductor chip pickup, which may include a collet body, a porous holder, and a support structure. The collet body may have an air room and at least one vacuum hole for introducing a vacuum into the air room. The porous holder may be disposed in the air room to adsorb the semiconductor chip using the vacuum. The support structure may be disposed in the air room to support the porous holder on the collet body. Thus, by the support structure firmly supporting the porous holder to the collet body, the porous holder can hold the semiconductor chip firmly and also the separation of the porous holder from the air room can be prevented. 반도체 칩 픽업용 콜렛은 콜렛 몸체, 다공성 홀더 및 지지 구조물을 포함할 수 있다. 상기 콜렛 몸체는 에어 룸 및 상기 에어 룸으로 진공을 도입시키기 위한 적어도 하나의 진공 홀을 가질 수 있다. 상기 다공성 홀더는 상기 에어 룸 내에 배치되어, 반도체 칩을 상기 진공을 이용해서 흡착할 수 있다. 상기 지지 구조물은 상기 에어 룸 내에 배치되어, 상기 다공성 홀더를 상기 콜렛 몸체에 지지시킬 수 있다. 따라서, 지지 구조물이 다공성 홀더를 콜렛 몸체에 견고하기 지지시킴으로써, 다공성 홀더가 반도체 칩을 견고하게 홀딩할 수 있고 또한 에어 룸으로부터 다공성 홀더의 이탈이 방지될 수 있다.