컴포넌트, 컴포넌트를 제조하는 방법, 및 컴포넌트를 세정하는 방법
컴포넌트, 컴포넌트를 제조하는 방법, 및 컴포넌트를 세정하는 방법이 제공된다. 컴포넌트는 컴포넌트 내의 가스 유동 시스템을 포함하며, 가스 유동 시스템은 하나 이상의 유입구 홀들 및 하나 이상의 유출구 홀들을 유체 결합한다. 컴포넌트의 제조는 호 형상 홈 및 원주 방향 홈이 링의 본체에 생성되게 한다. 컴포넌트는 린스, 베이킹 또는 퍼지 동작들을 포함하는 하나 이상의 세정 동작들을 겪는다. 세정 동작들은 컴포넌트 내의 또는 컴포넌트 상의 파편 또는 입자들을 제거하며, 여기서 파편 또는 입자들은 컴포넌트의 제조 중에, 또는 반도체 프...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , , , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!