POSITION CALIBRATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR FACTORY

In a position calibrating method using a position calibrating device for a semiconductor factory, first, a picture of a subject arranged on a line of the semiconductor factory is captured using a camera, and a two-dimensional image signal in a still state is generated. Then, a two-dimensional black-and-white image signal is generated from the two-dimensional image signal using a black-and-white imaging unit. Thereafter, a two-dimensional binary data form image signal is generated from the two-dimensional black-and-white image signal by using a binarization unit. Next, quadrangular-shaped images are detected from the two-dimensional binary data-shaped image signal by using a quadrangle detection unit. Then, a quadrangle that satisfies a preset condition among the detected quadrangle is recognized as a quadrangle image of an object to be processed and extracted by using a quadrangle extraction unit. Thereafter, calibrating data is output by calculating the position and inclination of the extracted quadrangular-shaped image using the calibrating unit. 반도체공장용 위치보정장치를 이용한 위치보정방법에 있어서, 먼저 카메라를 이용하여 반도체 공장의 라인 상에 배치된 피사체의 사진을 캡쳐하여 정지상태의 2차원 영상신호를 생성한다. 이어서, 흑백화부를 이용하여 상기 2차원 영상신호로부터 2차원 흑백형태의 영상신호를 생성한다. 이후에, 이진화부를 이용하여 상기 2차원 흑백형태의 영상신호로부터 2차원 이진수 데이터 형태의 영상신호를 생성한다. 계속해서, 사각형검출부를 이용하여 상기 2차원 이진수 데이터 형태의 영상신호로부터 사각형 형태의 이미지들을 검출한다. 이어서, 사각형추출부를 이용하여 상기 검출된 사각형 중에서 기설정된 조건에 맞는 사각형을 가공대상이 되는 물체의 사각형 이미지로 인식하여 추출한다. 이후에, 보정부를 이용하여 상기 추출된 사각형 이미지의 위치 및 기울기를 계산하여 보정데이터로 출력한다.