로봇 핸드 및 이를 구비하는 로봇

기판의 에지 상의 적어도 2 개소에 맞닿아 상기 기판을 파지하기 위한 로봇 핸드로서, 길이 방향으로 연장되는 중심선 상에 기판의 중심이 위치하도록 하는 파지 위치가 규정되는 베이스체와, 상기 중심선 상의 제2 당접부 보다 기단 측에 설치되고, 제2 당접부와 일체적으로 이동 가능한 접동면과, 상기 중심선 상의 접동면 보다 기단 측에 설치되는 피접동면을 구비하고, 기판을 파지할 때, 상기 중심선 상을 선단 측으로 이동하는 것에 의해, 피접동면으로 접동면을 압압하여 접동면 및 제2 당접부를 선단 측으로 이동시키는 가동체를 구비하고, 기판...

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Hauptverfasser: MATSUOKA SHOGO, FUKUSHIMA TAKAYUKI
Format: Patent
Sprache:kor
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