로봇 핸드 및 이를 구비하는 로봇

기판의 에지 상의 적어도 2 개소에 맞닿아 상기 기판을 파지하기 위한 로봇 핸드로서, 길이 방향으로 연장되는 중심선 상에 기판의 중심이 위치하도록 하는 파지 위치가 규정되는 베이스체와, 상기 중심선 상의 제2 당접부 보다 기단 측에 설치되고, 제2 당접부와 일체적으로 이동 가능한 접동면과, 상기 중심선 상의 접동면 보다 기단 측에 설치되는 피접동면을 구비하고, 기판을 파지할 때, 상기 중심선 상을 선단 측으로 이동하는 것에 의해, 피접동면으로 접동면을 압압하여 접동면 및 제2 당접부를 선단 측으로 이동시키는 가동체를 구비하고, 기판을 파지할 때, 제2 당접부가 기판으로부터 반력을 받음으로써, 접동면이 피접동면 상을 접동함에 따라서, 제2 당접부가 베이스체의 측으로 이동하는 것을 특징으로 한다. A robot hand configured to grip a substrate by contacting an edge of the substrate at least two locations is provided, which includes a base body defining a gripping position at which the center of the substrate is located on a center line extending in a longitudinal direction, a sliding surface provided on a base-end side of a second contacting part on the center line and configured to move with the second contacting part, and a mobile body slid surface provided on the base-end side of the sliding surface on the center line, and moving toward a tip end on the center line to push the sliding surface and move the sliding surface and the second contacting part toward the tip end. When the substrate is gripped, the second contacting part receives a force from the substrate and the surface slides to move the second part toward the base body.