광 산란 편광계를 사용한 유리 기반 샘플의 광학 지연의 특성화

유리-기반 샘플의 응력 관련 속성 또는 광학 지연을 특성화하는 방법들은 각 편광에 대한 산란 광(112S)을 발생시키기 위해 광 빔의 편광을 변화시키면서 유리 기반 샘플(10)로의 광 빔(112)을 지향시키는 단계를 포함한다. 각 편광에 대한 산란 광은 노출 시간 및 프레임 속도를 가진 이미지 센서(114)로 캡처된다. 산란 광은 이미지 센서에서 세기 분포를 가진다. 샘플은, 각 편광에 대한 평균화된 세기 분포를 형성하기 위해 프레임당 2 개 이상의 서로 다른 세기 분포들을 이미지 센서가 평균화하도록 이동된다. 그 후에, 다수의 프레임들에 대한 평균화된 세기 분포들은 광학 지연을 특성화하는데 사용딘다. 광학 지연은 유리 기반 샘플의 응력 관련 속성들을 결정하는데 사용될 수 있다. 기판을 이동하면 광학 지연 정보가 없는 산란 광으로 인해 측정 노이즈가 감소된다. Methods of characterizing an optical retardance or a stress-related property of a glass-bases sample include directing a light beam into the glass-based sample while varying the polarization of the light beam to generate scattered light for each polarization are provided. The scattered light for each polarization is captured with an image sensor, which has an exposure time and a frame rate. The scattered light has an intensity distribution at the image sensor. The sample is moved so that the image sensor averages two or more different intensity distributions per frame to form an averaged intensity distribution for each polarization. The averaged intensity distributions for multiple frames are then used to characterize the optical retardance. The optical retardance can turn be used to determine stress-related properties of the glass-based sample. Moving the substrate reduces measurement noise scattered light having no optical retardance information.