SCRIBING APPATUS
A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a stage configured to support a substrate having an ineffective area on one of an upper surface and a lower surface; a scribing unit configured to form a scribing line on the substrate; and an adsorption module includ...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a stage configured to support a substrate having an ineffective area on one of an upper surface and a lower surface; a scribing unit configured to form a scribing line on the substrate; and an adsorption module including an adsorption unit configured to adsorb the ineffective area of the substrate to transfer the substrate to the scribing unit. The scribing apparatus can improve the quality and yield of products.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 상면 및 하면 중 어느 하나에 비유효 영역을 갖는 기판을 지지하도록 구성되는 스테이지; 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 유닛; 및 기판의 비유효 영역을 흡착하여 기판을 스크라이빙 유닛으로 이송하도록 구성되는 흡착부를 포함하는 흡착 모듈을 포함할 수 있다. |
|---|