ALIGNMENT SYSTEM FILM-FORMING APPARATUS ALIGNMENT METHOD FILM-FORMING METHOD MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE AND RECORDING MEDIUM OF COMPUTER PROGRAM

An alignment system of the present invention includes: a first camera photographing an alignment mark formed on a substrate or a mask; a second camera photographing the alignment mark, and having resolution different from the first camera; a light source for acquisition of reflected light, radiating light to the alignment mark; a light source for acquisition of transmission light, radiating light to the alignment mark; a light source selection part selecting a light source radiating light to the alignment mark, from among the light source for acquisition of reflected light and the light source for acquisition of transmission light; and a position adjuster adjusting a relative position of the mask and the substrate, based on an image made by photographing the alignment mark, to which the light has been radiated by the light source selected by the light source selection part, through the first or second camera. The light source selection part selects different light sources when acquiring an image of the alignment mark through the first camera and acquiring an image of the alignment mark through the second camera. Therefore, the present invention is capable of improving alignment precision. 본 발명의 얼라인먼트 시스템은, 기판 또는 마스크에 형성된 얼라인먼트 마크를 촬영하는 제1 카메라와, 상기 얼라인먼트 마크를 촬영하며, 상기 제1 카메라와 다른 해상도를 가지는 제2 카메라와, 상기 얼라인먼트 마크에 광을 조사하는 반사광취득용 광원과, 상기 얼라인먼트 마크에 광을 조사하는 투과광취득용 광원과, 상기 반사광취득용 광원과 상기 투과광취득용 광원 중에서, 상기 얼라인먼트 마크에 광을 조사하는 광원을 선택하는 광원 선택부와, 상기 광원 선택부에 의하여 선택된 광원에 의해 광이 조사된 상기 얼라인먼트 마크를 상기 제1 카메라 또는 상기 제2 카메라로 촬상한 화상에 기초하여, 상기 기판과 상기 마스크의 상대위치를 조정하는 위치조정기구를 포함하고, 상기 광원 선택부는, 상기 제1 카메라로 상기 얼라인먼트 마크의 화상을 취득하는 경우와 상기 제2 카메라로 상기 얼라인먼트 마크의 화상을 취득하는 경우에, 다른 광원을 선택하는 것을 특징으로 한다.