개선된 웨이퍼형 센서
웨이퍼형 반도체 센서(100; 200)는 화학적 경화 유리의 복수의 층(112; 406; 110; 404)으로 형성된 웨이퍼형 베이스 및 웨이퍼형 베이스의 오목 포켓(106)에 장착되고 센서를 포함하는 전자 모듈(104; 204)을 포함한다. A wafer-like semiconductor sensor includes a wafer-like base formed of a plurality of layers of chemically-hardened glass and an electronics module mounted to a rec...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 웨이퍼형 반도체 센서(100; 200)는 화학적 경화 유리의 복수의 층(112; 406; 110; 404)으로 형성된 웨이퍼형 베이스 및 웨이퍼형 베이스의 오목 포켓(106)에 장착되고 센서를 포함하는 전자 모듈(104; 204)을 포함한다.
A wafer-like semiconductor sensor includes a wafer-like base formed of a plurality of layers of chemically-hardened glass and an electronics module mounted to a recessed pocket in the base and containing a sensor. |
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