HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY SYSTEM

Provided is a technology for suppressing an increase in a reflected wave power (the same as a reflection coefficient) by an IMD. According to the present invention, a high-frequency power supply system providing a high-frequency power for a load accessed comprises: a bias power supply which outputs a bias power at a first frequency; a source power supply which outputs a source power at a second frequency which is higher than the first frequency; and a matching unit which includes an impedance matching circuit which acquires the bias power and the source power and acquires the matching of impedance on the source power supply side and the load side. The source power supply determines a delay set value showing a starting timing for processing fluctuations in the frequency for the source power, processes fluctuations in the frequency by using the relevant delay set value and the value of the first frequency, and outputs the source power with the fluctuated frequency to the matching unit. [과제] IMD에 의한 반사파 전력(반사 계수와 동일한 의미)의 증가를 억제하는 기술을 제안한다. [해결 수단] 본 개시는, 접속되는 부하에 대해서 고주파 전력을 제공하는 고주파 전원 시스템으로서, 제1 주파수에서 바이어스 전력을 출력하는 바이어스 전원과, 제1 주파수보다도 높은 제2 주파수에서 소스 전력을 출력하는 소스 전원과, 바이어스 전력과 소스 전력을 취득하고, 소스 전원 측의 임피던스와 부하 측의 임피던스의 정합을 취하는 임피던스 정합회로를 포함하는 정합기를 포함하되, 소스 전원은, 소스 전력에 대한 주파수 변동 처리의 개시 타이밍을 나타내는 지연 설정값을 결정하고, 해당 지연 설정값과 제1 주파수의 값을 이용해서 주파수 변동 처리를 실행하고, 주파수 변동된 소스 전력을 정합기에 출력하는, 고주파 전원 시스템을 제안한다.