Lift apparatus and substrate processing apparatus including the same

According to an embodiment of the present disclosure, a lift device for vertically moving an object in a substrate processing device, comprises: a body for supporting an object, and formed with a lift hole vertically overlapping the object; a lift pin vertically moved in the lift hole to vertically move the object; a bellows at a lower portion of the body; a connection assembly coupled to a lower portion of the lift pin inside the bellows and interfering with downward movement of the lift pin, but not interfering with driving of at least one of rotation, sliding, and inclination of the lift pin; a load sensor placed at a lower portion of the connection assembly, measuring a vertical load generated in accordance with movement of the lift pin, and generating load information; and an actuator for vertically moving the lift pin. 본 개시의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서 대상물을 상하 방향으로 이동시키기 위한 리프트 장치는, 상기 대상물을 지지하도록 구성되고, 상기 대상물과 상하 방향으로 중첩된 리프트 홀이 형성된 몸체; 상기 리프트 홀에서 상하 방향으로 이동하여, 상기 대상물을 상하 방향으로 이동시키도록 구성된 리프트 핀; 상기 몸체의 하부에 있는 벨로우즈; 상기 벨로우즈의 내부에서 상기 리프트 핀의 하부에 결합되고, 상기 리프트 핀의 하향의 이동을 간섭하지만, 상기 리프트 핀의 회전, 미끄러짐, 및 기울어짐 중 적어도 어느 하나의 구동을 간섭하지 않도록 구성된 연결 조립체; 상기 연결 조립체의 하부에 있고, 상기 리프트 핀의 이동에 따라 발생되는 상하 방향의 로드를 측정하고, 로드 정보를 생성하도록 구성된 로드 센서; 및 상기 리프트 핀을 상하 방향으로 이동시키도록 구성된 액츄에이터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.